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doi:10.22028/D291-24567 | Title: | SiO2-Glassschichten auf Si-Wafern für optische Komponenten |
| Author(s): | Mennig, Martin Gier, Andreas Berni, Anette Schmidt, Helmut K. |
| Language: | German |
| Year of Publication: | 1997 |
| OPUS Source: | Kurzreferate / 71. Glastechnische Tagung, Bayreuth vom 26. bis 28. Mai 1997 / Deutsche Glastechnische Gesellschaft e.V. - Frankfurt/Main, 1997, S. 93-96 |
| SWD key words: | Wafer Glas |
| DDC notations: | 620 Engineering and machine engineering |
| Publikation type: | Conference Paper |
| Abstract: | - |
| Link to this record: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-28749 hdl:20.500.11880/24623 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24567 |
| Date of registration: | 14-May-2010 |
| Faculty: | SE - Sonstige Einrichtungen |
| Department: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
| Collections: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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