Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen: doi:10.22028/D291-24567
Titel: SiO2-Glassschichten auf Si-Wafern für optische Komponenten
VerfasserIn: Mennig, Martin
Gier, Andreas
Berni, Anette
Schmidt, Helmut K.
Sprache: Deutsch
Erscheinungsjahr: 1997
Quelle: Kurzreferate / 71. Glastechnische Tagung, Bayreuth vom 26. bis 28. Mai 1997 / Deutsche Glastechnische Gesellschaft e.V. - Frankfurt/Main, 1997, S. 93-96
Kontrollierte Schlagwörter: Wafer
Glas
DDC-Sachgruppe: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Dokumenttyp: Konferenzbeitrag (in einem Konferenzband / InProceedings erschienener Beitrag)
Abstract: -
Link zu diesem Datensatz: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-28749
hdl:20.500.11880/24623
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24567
Datum des Eintrags: 14-Mai-2010
Fakultät: SE - Sonstige Einrichtungen
Fachrichtung: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Sammlung:INM
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