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doi:10.22028/D291-24400
Titel: | Fine patterning of thin sol-gel films |
VerfasserIn: | Krug, Herbert Merl, Norbert Schmidt, Helmut K. |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1992 |
Quelle: | Journal of non-crystalline solids. - 147/148. 1992, S. 447-450 |
Kontrollierte Schlagwörter: | Dünne Schicht Sol-Gel-Verfahren Prägen Ormocer |
DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Dokumenttyp: | Journalartikel / Zeitschriftenartikel |
Abstract: | An embossing technique was used to fabricate surface reliefs in organically modified ceramics of the Ormocer type, synthesized via the sol-gel route. Embossing techniques for these materials are described and results of embossed grids and gratings with up to 2400 lines/mm and peak-to-trough values up to 3 µm are presented. |
Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-27054 hdl:20.500.11880/24456 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24400 |
Datum des Eintrags: | 17-Feb-2010 |
Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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