Please use this identifier to cite or link to this item: doi:10.22028/D291-24389
Title: ORMOCERe (ORganically MOdified CERamics) als Werkstoffe in Mikrotechniken
Author(s): Kasemann, Reiner
Krug, Herbert
Schmidt, Helmut K.
Language: German
Year of Publication: 1991
OPUS Source: Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Karlsruhe, 24. und 25. Oktober 1991; Tagungsbericht. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1991. — (VDI-Berichte ; 933), S. 303-312
SWD key words: Ormocer
Mikrosystemtechnik
Verbundwerkstoff
Organischer Stoff
Nichtmetallischer Werkstoff
Anorganischer Werkstoff
Sol-Gel-Verfahren
DDC notations: 620 Engineering and machine engineering
Publikation type: Conference Paper
Abstract: ORMOCERe (ORganically MOdified CERamics) sind nichtmetallisch-anorganische nanoskalige Kompositwerkstoffe, die über den Sol-Gel-Prozeß durch chemische Synthesen hergestellt werden. Aufgrund der vielfältigen Variationsmöglichkeiten sind Werkstoffe mit maßgeschneiderten Eigenschaften zugänglich. Am Beispiel photostrukturierter und geprägter Schichten wird das Potential dieser Werkstoffklasse für Mikroelektronik und integrierte Optik beschrieben.
Link to this record: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26885
hdl:20.500.11880/24445
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24389
ISBN: 3-18-090933-1
Date of registration: 8-Feb-2010
Faculty: SE - Sonstige Einrichtungen
Department: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Collections:INM
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