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doi:10.22028/D291-24319
Title: | New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application |
Other Titles: | Neue Werkstoffe über den Sol-Gel-Prozeß und ihre Anwendungsmöglichkeiten für die Mikroelektronik |
Author(s): | Schmidt, Helmut K. |
Language: | English |
Year of Publication: | 1988 |
OPUS Source: | DVS- Berichte. - 110. 1988, S. 54-56 |
SWD key words: | Werkstoff Sol-Gel-Verfahren Mikroelektronik Anorganische Polymere Homogenität Reinheit Flüssiger Zustand Viskosität |
DDC notations: | 620 Engineering and machine engineering |
Publikation type: | Journal Article |
Abstract: | Der Sol-Prozess ermöglicht die Herstellung von kermaischen Werkstoffen, Gläsern und anorganisch-organischen Polymeren mit besonderen Eigenschaften (zum Beispiel Reinheit, Homogenität). Aufgrund der speziellen Reaktionsführung lassen sich flüssige oder gelöste Phasen als Zwischenstufen herstellen, deren Viskosität beschichtungstechnischen Problemen angepasst werden kann (z.B. spin-on coating, tape casting). Für den Bereich der Mikroelektronik ergibt sich ein interessantes Potential an Werkstoffentwicklungen, dessen volle Breite erst die zukünftigen Entwicklungen zeigen müssen. Einsatzfelder werden gesehen für Substratmaterialien, photostrukturierbare Materialien, Passivierungs- und Verpackungssysteme, Sensoren bzw. andere aktive Komponenten. |
Link to this record: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26154 hdl:20.500.11880/24375 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24319 |
Date of registration: | 29-Dec-2009 |
Faculty: | SE - Sonstige Einrichtungen |
Department: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
Collections: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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