Please use this identifier to cite or link to this item: doi:10.22028/D291-24319
Title: New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application
Other Titles: Neue Werkstoffe über den Sol-Gel-Prozeß und ihre Anwendungsmöglichkeiten für die Mikroelektronik
Author(s): Schmidt, Helmut K.
Language: English
Year of Publication: 1988
OPUS Source: DVS- Berichte. - 110. 1988, S. 54-56
SWD key words: Werkstoff
Sol-Gel-Verfahren
Mikroelektronik
Anorganische Polymere
Homogenität
Reinheit
Flüssiger Zustand
Viskosität
DDC notations: 620 Engineering and machine engineering
Publikation type: Journal Article
Abstract: Der Sol-Prozess ermöglicht die Herstellung von kermaischen Werkstoffen, Gläsern und anorganisch-organischen Polymeren mit besonderen Eigenschaften (zum Beispiel Reinheit, Homogenität). Aufgrund der speziellen Reaktionsführung lassen sich flüssige oder gelöste Phasen als Zwischenstufen herstellen, deren Viskosität beschichtungstechnischen Problemen angepasst werden kann (z.B. spin-on coating, tape casting). Für den Bereich der Mikroelektronik ergibt sich ein interessantes Potential an Werkstoffentwicklungen, dessen volle Breite erst die zukünftigen Entwicklungen zeigen müssen. Einsatzfelder werden gesehen für Substratmaterialien, photostrukturierbare Materialien, Passivierungs- und Verpackungssysteme, Sensoren bzw. andere aktive Komponenten.
Link to this record: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26154
hdl:20.500.11880/24375
http://dx.doi.org/10.22028/D291-24319
Date of registration: 29-Dec-2009
Faculty: SE - Sonstige Einrichtungen
Department: SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien
Collections:INM
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