Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen:
doi:10.22028/D291-24319
Titel: | New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application |
Alternativtitel: | Neue Werkstoffe über den Sol-Gel-Prozeß und ihre Anwendungsmöglichkeiten für die Mikroelektronik |
VerfasserIn: | Schmidt, Helmut K. |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1988 |
Quelle: | DVS- Berichte. - 110. 1988, S. 54-56 |
Kontrollierte Schlagwörter: | Werkstoff Sol-Gel-Verfahren Mikroelektronik Anorganische Polymere Homogenität Reinheit Flüssiger Zustand Viskosität |
DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Dokumenttyp: | Journalartikel / Zeitschriftenartikel |
Abstract: | Der Sol-Prozess ermöglicht die Herstellung von kermaischen Werkstoffen, Gläsern und anorganisch-organischen Polymeren mit besonderen Eigenschaften (zum Beispiel Reinheit, Homogenität). Aufgrund der speziellen Reaktionsführung lassen sich flüssige oder gelöste Phasen als Zwischenstufen herstellen, deren Viskosität beschichtungstechnischen Problemen angepasst werden kann (z.B. spin-on coating, tape casting). Für den Bereich der Mikroelektronik ergibt sich ein interessantes Potential an Werkstoffentwicklungen, dessen volle Breite erst die zukünftigen Entwicklungen zeigen müssen. Einsatzfelder werden gesehen für Substratmaterialien, photostrukturierbare Materialien, Passivierungs- und Verpackungssysteme, Sensoren bzw. andere aktive Komponenten. |
Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26154 hdl:20.500.11880/24375 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24319 |
Datum des Eintrags: | 29-Dez-2009 |
Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
Dateien zu diesem Datensatz:
Datei | Beschreibung | Größe | Format | |
---|---|---|---|---|
sm198802.pdf | 490,82 kB | Adobe PDF | Öffnen/Anzeigen |
Alle Ressourcen in diesem Repository sind urheberrechtlich geschützt.