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doi:10.22028/D291-24382
Titel: | Inorganic-organic composites (ORMOCERs) as structured layers for microelectronics |
VerfasserIn: | Popall, Michael Meyer, Henning Schmidt, Helmut K. Schulz, Jochen |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1990 |
Quelle: | Better ceramics through chemistry IV : symposium held April 16 - 20, 1990, San Francisco, California, U.S.A / ed.: Brian J. J. Zelinski … - Pittsburgh, Pa. : Materials Research Soc., 1990. — (Materials Research Society symposium proceedings ; 180), S. 995-1001 |
Kontrollierte Schlagwörter: | Ormocer Copolymere Sol-Gel-Verfahren Mikroelektronik Photopolymerisation Epoxide |
DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Dokumenttyp: | Konferenzbeitrag (in einem Konferenzband / InProceedings erschienener Beitrag) |
Abstract: | Enhanced integration, faster signal transmission and reduced size of mounting devices in components for microelectronics requires new patternable materials. Inorganic-organic copolymers (ORMOCERs = ORganically MOdified CERamics), prepared by sol-gel techniques have been developed for interconnection technologies in microelectronics. Photopolymerization is enabled by unsaturated hydrocarbon or epoxide substituents and UV-sensitive initiators. Using a frequency doubled Argon-ion laser at 257 nm for direct laser writing, patterned layers with high edge quality have been realized. In combination with high breakthrough voltages, low permittivity constants and high bulk resistivities they open interesting aspects for very large system integration techniques (VLSI). |
Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26792 hdl:20.500.11880/24438 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24382 |
ISBN: | 1-558-99069-0 |
Datum des Eintrags: | 5-Feb-2010 |
Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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