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doi:10.22028/D291-24220
Titel: | Comparison of spray pyrolyzed FTO, ATO and ITO coatings for flat and bent glass substrates |
VerfasserIn: | Bisht, Harish Aegerter, Michel A. Mehrtens, Andre Eun, H.-T. |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1999 |
Quelle: | Thin solid films. - 351. 1999, S. 109-114 |
Kontrollierte Schlagwörter: | Flachglas Enzymsubstrat Substrat <Chemie> Abscheidung Indium Zinn Pyrolyse Optische Eigenschaft Elektrische Eigenschaft |
DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Dokumenttyp: | Journalartikel / Zeitschriftenartikel |
Abstract: | Transparent conductive FTO, ATO and ITO films were synthesized by spray pyrolysis technique on flat 12x12 cm borosilicate glass substrates at 500-550°C and investigated with respect to their electrical and optical properties. The resistivity of sprayed ITO films decreases with the thickness down to 3.0x10-4 Ω cm (300 nm). The optical transmission in the visible range is 80% and the near IR reflection up to 96% for thicknesses larger than 300 nm. A reducing treatment at 400°C in forming gas still decreases the resistivity by a factor of two. Bending of the coated glasses in air at 650°C for 1.5 h increases the resistivity of the coatings on the tensile side of the substrate by a factor of 3-4 and by a factor 2 on the compressed side. A subsequent reducing treatment in forming gas at 400°C leads to a drastic decrease of resistivity in both cases by a factor of 5-7 with resulting value Ρ=2-3¡x10-4 Ω cm. ATO layers have lower visible transmission (70-75%) due to stronger absorption and a higher resistivity (Ρ=1x10-3 Ω cm). Spray pyrolyzed FTO coatings have a resistivity Ρ=5x10-3 Ω cm for film thicknesses >350 nm. |
Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-24646 hdl:20.500.11880/24276 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24220 |
Datum des Eintrags: | 20-Nov-2009 |
Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
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